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YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法

YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法

YS/T 23-2016

行业标准-有色金属推荐性
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标准详情

  • 标准名称：硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
  • 标准号：YS/T 23-2016
    中国标准分类号：H21
  • 发布日期：2016-04-05
    国际标准分类号：77.040
  • 实施日期：2016-09-01
    技术归口：
  • 代替标准：YS/T 23-1992
    批准发布部门：工业和信息化部
  • 标准分类：冶金有色金属金属材料试验制造业

内容简介

行业标准《硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法》，主管部门为工业和信息化部。

起草单位

起草人

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