JB/T 6922-2015 真空蒸发镀膜设备
内容简介
行业标准《真空蒸发镀膜设备》，主管部门为工业和信息化部/国家能源局。本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型号、形式和基本参数﹑技术要求﹑试验方法﹑检验规则及标志﹑包装﹑运输﹑贮存等要求。本标准适用于极限压力在5×10-4 PA~5×10-3 PA范围内的真空蒸发镀膜设备。
起草单位
起草人
相近标准
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