SJ/T 31100-1994 离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法
内容简介
本标准规定子半导体器件生产用离子束蚀刻机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于电子产品生产、科研用离子束蚀刻机。
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