GJB/J 5463-2005 光学薄膜折射率和厚度测试仪检定规程
内容简介
本检定规程规定了光谱范围 250nm~1700nm 椭偏法光学薄膜折射率和厚度测试仪(以下简称测试仪)的检定技术要求、检定项目、检定条件、检定方法、检定结果的处理和检定周期。本检定规程适用于新制造、使用中与修理后的测试仪的检定。
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