SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范
内容简介
行业标准《半导体制造设备人机界面规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了半导体制造设备人机界面的术语和要求。本标准适用于半导体制造设备。
起草单位
北京北方华创微电子装备有限公司、北方华创科技集团股份有限公司等、工业和信息化部电子工业标准化研究院、
起草人
付金生、冯亚彬、程朝阳、
相近标准
TB/T3569-2021列控车载设备人机界面（DMI）显示规范GB/T4205-2003人机界面(MMI)操作规则20100113-T-469半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则GB/T29845-2013半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则人机界面标志标识的基本和安全规则设备端子、导体终端和导体标识机床数控系统人机界面20162366-T-604机床数控系统人机界面GB/T39128-2020机床数控系统人机界面20180819-T-469人机界面标志标识的基本和安全规则设备端子、导体终端和导体的标识GB/T4026-2019人机界面标志标识的基本和安全规则设备端子、导体终端和导体的标识
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