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YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法

YS/T 26-2016

行业标准-有色金属推荐性

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标准详情

标准名称：硅片边缘轮廓检验方法
标准号：YS/T 26-2016
中国标准分类号：H21
发布日期：2016-07-11
国际标准分类号：77.040
实施日期：2017-01-01
技术归口：
代替标准：YS/T 26-1992
批准发布部门：工业和信息化部
标准分类：冶金有色金属金属材料试验

内容简介

行业标准《硅片边缘轮廓检验方法》，主管部门为工业和信息化部。

起草单位

起草人

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