GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法
Polycrystalline silicon - examination method - zone - melting on phosphorus under controlled atomosphere
内容简介
国家标准《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》由610（中国有色金属工业协会）归口上报及执行，主管部门为中国有色金属工业协会。
起草单位
蛾眉半导体材料厂、
起草人
相近标准
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