标准详情
- 标准名称：砷化镓、磷化铟单晶晶向的测量方法
- 标准号：SJ 3244.3-1989
- 中国标准分类号：CCS1,
- 发布日期：1989-03-20
- 国际标准分类号：441.457.
- 实施日期：1989-03-25
- 技术归口：
- 代替标准：
- 批准发布部门：
- 标准分类：综合电气工程半导体材料标准化管理与一般规定技术管理
SJ 3244.3-1989 砷化镓、磷化铟单晶晶向的测量方法
内容简介
本标准规定了砷化镓、磷化铟单晶锭端面及晶片晶向的X射线衍射测量原理、测量步骤、结果计算以及精度。 本标准适用于晶片表面大体平行于(10^(·)以内)某一低密勒指数原子面的单晶片的晶向测定。
起草单位
起草人
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