YS/T 893-2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材
内容简介
行业标准《电子薄膜用高纯钛溅射靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明与合同(订单)等内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。
起草单位
有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司、
起草人
何金江、董亭义、
相近标准
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