标准详情
- 标准名称：磷化铟单晶位错的测量方法
- 标准号：SJ 3245-1989
- 中国标准分类号：CCS1,
- 发布日期：1989-03-20
- 国际标准分类号：441.457.
- 实施日期：1989-03-25
- 技术归口：
- 代替标准：
- 批准发布部门：
- 标准分类：综合电气工程半导体材料标准化管理与一般规定技术管理
SJ 3245-1989 磷化铟单晶位错的测量方法
内容简介
本标准规定了磷化铟单晶(100)面和(111)In面位错的腐蚀显示及显微测量的原理、仪器试剂、测量步骤。 本标准适用于位错密度在0~10^(5)/cm^(2)范围的单晶测量,被检测晶面的晶向偏差在5°以内。
起草单位
起草人
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