SJ/T 11598-2016 电子工业用氢化铝钠
内容简介
行业标准《电子工业用氢化铝钠》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
起草单位
英利集团有限公司、河北大学等、六九硅业有限公司、
起草人
杨惠茹、蔡春立、王伟、
相近标准
20062407-T-469电子工业用气体氮电子工业用气体氨20062750-T-469电子工业用气体氨20062406-T-469电子工业用气体氦20062405-T-469电子工业用气体氢20062408-T-469电子工业用气体氩20062752-T-469电子工业用气体氧20132256-T-469电子工业用气体丙烯20132257-T-469电子工业用气体硅烷GB/T14601-2009电子工业用气体氨
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