YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定？气相色谱质谱联用法
内容简介
行业标准《氯硅烷中碳含量的测定？气相色谱质谱联用法》，主管部门为工业和信息化部。本文件规定了气相色谱质谱联用法测定氯硅烷中碳杂质含量的方法。 本文件适用于氯硅烷中碳杂质(包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷,统称甲基氯硅烷)含量的测定,测定范围 (质量分数)为 0.000 010%~0.10%。
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