GB/T 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator
GB/T 38614-2020
国家标准推荐性
内容简介
国家标准《基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法》由TC153（全国电子测量仪器标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为工业和信息化部（电子）。
起草单位
沈阳建筑大学、广东工业大学、苏州昊通仪器科技有限公司、三英精控（天津）仪器设备有限公司、中国计量科学研究院、沈阳理工大学、
起草人
须颖、戴敬、施玉书、贾静、石怀涛、邵萌、安冬、戴超、文杰、
相近标准
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