GB/T 36969-2018 纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法
Nanotechnology—Method for the measurement of the nanofilm-thickness by atomic force microscopy
内容简介
国家标准《纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国科学院。
起草单位
上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心、
起草人
李慧琴、金承钰、韦菲菲、梁齐、何丹农、
相近标准
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