GB/T 25755-2010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics
内容简介
国家标准《真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国机械工业联合会。
起草单位
北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所、
起草人
邹蒙、张勤德、李春影、朱国精、马殿理、
相近标准
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