T/JSSES 16-2021 《集成电路行业废硫酸综合利用技术要求及试验方法》

内容简介

项目　指标硫酸（H2SO4）质量分数/%　≥50过氧化氢质量分数/%　≤0.1灰分质量分数/%　≤0.05铜（Cu）质量指标/%　≤0.0005铁（Fe）质量分数/%　≤0.01砷（As）质量分数/%　≤0.0005铅（Pb）质量分数/%　≤0.01汞（Hg）质量分数/%　≤0.005镉（Cd）质量分数/%　≤0.0005铬（Cr）质量分数/%　≤0.0025镍（Ni）质量分数/%　≤0.0025总有机碳（TOC）/(mg/L)　≤500透明度/mm　≥30