QJ 3212-2005 氦质谱仪背压检漏方法
内容简介
本标准规定了氦质谱仪背压检漏的设备、环境、安全、人员、试验原理、试验程序的要求。 本标准适用于漏率在10Pa?m/s~10Pa?m/s的小型封闭产品的氦质谱仪背压泄漏的检测。
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