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ISO 14644-2-2000 洁净室和相关控制环境第2部分：与ISO 14644-1连续相配位的检测和监控规范

ISO 14644-2-2000 洁净室和相关控制环境第2部分：与ISO 14644-1连续相配位的检测和监控规范

ISO 14644-2-2000 标准详情

标准号：ISO 14644-2-2000
中文标题：洁净室和相关控制环境第2部分：与ISO 14644-1连续相配位的检测和监控规范
英文标题：Cleanrooms and associated controlled environments. Part 2:Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with iso 14644-1 salles propres et environnements ma trisés apparentés partie 2:Spécifications pour les essais et la sur
标准类别：国际标准化组织标准ISO
发布日期：2000-09-15

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