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JB/T 12067-2014 TDL-GX硅芯生长炉

JB/T 12067-2014 TDL-GX硅芯生长炉

JB/T 12067-2014

行业标准-机械推荐性

标准详情

  • 标准名称:TDL-GX硅芯生长炉
  • 标准号:JB/T 12067-2014
    中国标准分类号:K61
  • 发布日期:2014-07-14
    国际标准分类号:25.180.10
  • 实施日期:2014-11-01
    技术归口:全国工业电热设备标准化技术委员会
  • 代替标准:
    批准发布部门:工业和信息化部
  • 标准分类:机械制造工业炉电炉机械

内容简介

行业标准《TDL-GX硅芯生长炉》由全国工业电热设备标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。本标准规定了对TDL-GX 硅芯生长炉产品的型号品种规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、存储以及定购和供货等。本标准适用于高频感应加热,采用基座法生长硅基发热载体的设备。

起草单位

西安电炉研究所有限公司、西安理工晶体科技有限公司等、

起草人

陈巨才、朱琳、

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