标准详情
- 标准名称：yl－1型mocvd设备完好要求和检查评定方法
- 标准号：SJ/T 31126-1994
- 中国标准分类号：CCS11,
- 发布日期：1997-01-01
- 国际标准分类号：
- 实施日期：1997-01-01
- 技术归口：
- 代替标准：
- 批准发布部门：
- 标准分类：电子元器件与信息技术电子工业生产设备表面防护设备
SJ/T 31126-1994 yl－1型mocvd设备完好要求和检查评定方法
内容简介
本标准规定了金属有机化合物化学汽相淀积设备(简称MOCVD设备)的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于YL-I型MOCVD设备。
起草单位
起草人
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