YS/T 1141-2016 钛蒸发料
内容简介
行业标准《钛蒸发料》，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了钛蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料。
起草单位
起草人
相近标准
20082122-T-610铝蒸发料20082133-T-610镍蒸发料20082166-T-610银蒸发料YS/T1123-2016铂蒸发料YS/T1142-2016钒蒸发料YS/T1151-2016锡蒸发料YS/T1508-2021钯蒸发料GB/T26028-2010铝蒸发料GB/T26032-2010镍蒸发料GB/T26309-2010银蒸发料
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