YS/T 987-2014 氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定
内容简介
行业标准《氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准第1部分规定了三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定方法,适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定,检测范围为0.00001%~1.00%。本标准第2部分规定了四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定方法。本标准适用于四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定,检测范围为0.00001%~1.00%。
起草单位
四川新光硅业科技有限责任公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司等、
起草人
敖细平、王波、
相近标准
YS/T1300-2019氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定气相色谱质谱联用法20110311-T-606工业用甲基苯基二氯硅烷GB/T30304-2013工业用甲基苯基二氯硅烷20078953-T-606工业用二甲基二氯硅烷GB/T23953-2009工业用二甲基二氯硅烷20031476-T-606一甲基三氯硅烷GB/T20434-2006一甲基三氯硅烷20184306-T-469电子工业用二氯硅烷GB/T38866-2020电子工业用二氯硅烷HG/T5720-2020工业用二苯基二氯硅烷
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