BS ISO 17560-2014 标准详情
- 标准号：BS ISO 17560-2014
- 中文标题：表面化学分析，二次离子质谱法，为硼硅深度剖析方法
- 英文标题：Surface chemical analysis. Secondary-ion mass spectrometry. Method for depth profiling of boron in silicon
- 标准类别：英国标准BS
- 发布日期：30 September 2014
BS ISO 17560-2014 表面化学分析，二次离子质谱法，为硼硅深度剖析方法
内容简介
Defines a secondary-ion mass spectrometric method using magnetic-sector or quadrupole mass spectrometers for depth profiling of boron in silicon, and using stylus profilometry or optical interferometry for depth scale calibration.
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