SJ/T 11505-2015 蓝宝石单晶抛光片规范
内容简介
行业标准《蓝宝石单晶抛光片规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、合肥晶桥光电材料有限公司等、工业和信息化部电子工业标准化研究院、
起草人
何秀坤、李静、陈俊、
相近标准
20110055-T-469蓝宝石单晶衬底抛光片GB/T30858-2014蓝宝石单晶衬底抛光片硅单晶抛光片20151794-T-469硅单晶抛光片GB/T12964-2003硅单晶抛光片GB/T12964-2018硅单晶抛光片20110056-T-469蓝宝石单晶晶锭蓝宝石单晶晶棒GB/T31092-2014蓝宝石单晶晶锭20204894-T-469蓝宝石单晶晶棒
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