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GB 6623-1986 硅抛光片表面热氧化层错的测试方法

GB 6623-1986 硅抛光片表面热氧化层错的测试方法

standard method for measuring the surface o.s.f of polished silicon wafers

GB 6623-1986

国家标准推荐性

标准详情

  • 标准名称:硅抛光片表面热氧化层错的测试方法
  • 标准号:GB 6623-1986
    中国标准分类号:8Q
  • 发布日期:1986-07-26
    国际标准分类号:
  • 实施日期:1987-07-01
    技术归口:
  • 代替标准:
    批准发布部门:
  • 标准分类:冶金金属理化性能试验方法金属无损检验方法

内容简介

起草单位

起草人

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