标准详情
- 标准名称：硅抛光片表面热氧化层错的测试方法
- 标准号：GB 6623-1986
- 中国标准分类号：8Q
- 发布日期：1986-07-26
- 国际标准分类号：
- 实施日期：1987-07-01
- 技术归口：
- 代替标准：
- 批准发布部门：
- 标准分类：冶金金属理化性能试验方法金属无损检验方法
GB 6623-1986 硅抛光片表面热氧化层错的测试方法
standard method for measuring the surface o.s.f of polished silicon wafers
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