SJ/T 11517-2015 电子工业用气体 一氧化碳

内容简介

行业标准《电子工业用气体 一氧化碳》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了一氧化碳的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于甲酸脱水、甲酸甲酯选择分解、木炭还原二氧化碳、甲醇裂解或使用天然气、轻油、重质液态烃、焦炭、煤等含碳物质为原料经过氧化、蒸汽转化或二氧化碳还原等不同工艺过程获得并经精制得到的一氧化碳产品。它在多晶态钻石膜生产中,为化学气相沉积(CVD)工艺过程提供碳源。