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SJ/T 11507-2015 集成电路用 氧化层缓冲腐蚀液

SJ/T 11507-2015 集成电路用 氧化层缓冲腐蚀液

SJ/T 11507-2015

行业标准-电子推荐性

标准详情

  • 标准名称:集成电路用 氧化层缓冲腐蚀液
  • 标准号:SJ/T 11507-2015
    中国标准分类号:L90
  • 发布日期:2015-04-30
    国际标准分类号:31.030
  • 实施日期:2015-10-01
    技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准:
    批准发布部门:工业和信息化部
  • 标准分类:电子学电子电子技术专用材料

内容简介

行业标准《集成电路用 氧化层缓冲腐蚀液》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。

起草单位

江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、

起草人

戈士勇、何珂、王周霞、

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