JB/T 10439-2004 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉
内容简介
行业标准《单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉》由全国工业电热设备标准化技术委员会归口上报，主管部门为国家发展和改革委员会。本标准规定了对TDR系列直拉法单晶炉的各项要求,包括品种规格、技术要求、试验方法、检验规则及订购和供货等。本标准适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
起草单位
西安理工大学晶体生长设备研究所、
起草人
陈巨才、
相近标准
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