T/CEMIA 025-2021 光伏电池片制程用石英管

内容简介

本文件规定了光伏电池片制程用石英管的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存要求本文件适用于以高纯石英砂(二氧化硅)为原料，采用连续电熔工艺生产石英母管，并将其直径扩大到300mm~600mm,用于光伏电池片扩散和化学气相沉积等制程用石英玻璃管本文件规定了光伏电池片制程用石英管的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存要求。本文件适用于以高纯石英砂(二氧化硅)为原料，采用连续电熔工艺生产石英母管，并将其直径扩大到300mm~600mm,用于光伏电池片扩散和化学气相沉积等制程用石英玻璃管。