SJ/T 31094-1994 clp－30陶瓷劈刀研磨机完好要求和检查评定方法
内容简介
本标准规定了半导体电路生产用GLP-30型陶瓷劈刀研磨机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于GLP-30型陶瓷劈刀研磨机,其它型号的劈刀研磨机也可参照执行。
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