SJ/T 31096-1994 精密硅片磨床完好要求和检查评定方法
内容简介
本标准规定了精密硅片磨床的完好要求与检查、评定方法。 本标准适用于CM73-Ⅲ型精密硅片磨床。其它类型的硅片磨床也可参照本标准执行。
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