SJ/T 11491-2015 短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
内容简介
行业标准《短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了用短基线红外光谱法测定硅中间隙氧含量。
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、苏州晶瑞化学有限公司等、工业和信息化部电子工业标准化研究院、
起草人
李静、何秀坤、刘兵、
相近标准
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