SJ/T 11492-2015 光致发光法测定磷镓砷晶片的组分
内容简介
行业标准《光致发光法测定磷镓砷晶片的组分》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了采用光致发光测试系统对表面经过处理的磷镓砷(GAAS1-XPX)晶片组分进行测试的方法。
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所等、工业和信息化部电子工业标准化研究院、
起草人
李静、金鹏、何秀坤、
相近标准
GA/T593-2006光致发光照相、录像方法规则20068100-T-469光致发光（磷光）安全标记光学性能要求GB/T21382-2008光致发光（磷光）安全标记光学性能要求计时仪器光致发光涂层试验方法和要求QB/T4004-2010计时仪器光致发光涂层试验方法和要求20191279-T-607计时仪器光致发光涂层试验方法和要求GB/T40359-2021计时仪器光致发光涂层试验方法和要求20070858-T-469硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法GA/T1447-2017法庭科学变造文件的紫外光致发光检验技术规范碳化硅外延片基面位错的测试光致发光法
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