SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范
内容简介
行业标准《碳化硅单晶抛光片规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
起草单位
中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院等、北京天科合达蓝光半导体有限公司、
起草人
丁丽、郑红军、蔺娴、
相近标准
碳化硅单晶抛光片20110061-T-469碳化硅单晶抛光片GB/T30656-2014碳化硅单晶抛光片20200799-T-469碳化硅单晶抛光片20110062-T-469碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法SJ/T11504-2015碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法GB/T31351-2014碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法硅单晶抛光片20151794-T-469硅单晶抛光片GB/T12964-2003硅单晶抛光片
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