GB/T 18682-2002 物理气相沉积TiN薄膜技术条件
Specifications of physical vapour deposition TiN films
GB/T 18682-2002
国家标准推荐性
内容简介
国家标准《物理气相沉积TiN薄膜技术条件》由TC57（全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国机械工业联合会。
起草单位
武汉材料保护研究所、
起草人
相近标准
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