GB/T 38616-2020 纳米定位与扫描平台术语
Terminology for nano positioning and scaning stage
GB/T 38616-2020
国家标准推荐性
内容简介
国家标准《纳米定位与扫描平台术语》由TC153（全国电子测量仪器标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为工业和信息化部（电子）。
起草单位
沈阳建筑大学、广东工业大学、苏州昊通仪器科技有限公司、三英精控（天津）仪器设备有限公司、中国计量科学研究院、沈阳理工大学、
起草人
须颖、戴敬、施玉书、贾静、王贺、安冬、邵萌、戴超、文杰、
相近标准
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