GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
内容简介
国家标准《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国科学院。
起草单位
上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心、
起草人
李慧琴、梁齐、张冰、路庆华、何丹农、
相近标准
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