SJ/T 11498-2015 重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法
内容简介
行业标准《重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、苏州晶瑞化学有限公司等、工业和信息化部电子工业标准化研究院、
起草人
何友琴、马农农、何秀坤、
相近标准
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