标准详情
- 标准名称：半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
- 标准号：JC/T 2133-2012
- 中国标准分类号：G14
- 发布日期：2012-12-28
- 国际标准分类号：
- 实施日期：2013-06-01
- 技术归口：全国工业陶瓷标准化技术委员会
- 代替标准：
- 批准发布部门：工业和信息化部
- 标准分类：建材
JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
内容简介
行业标准《半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法》由全国工业陶瓷标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
起草单位
中国科学院上海硅酸盐研究所、
起草人
陈奕睿、屈海云、
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