GB/T 12964-1996 硅单晶抛光片
monocrystalline silicon polished wafers
内容简介
本标准规定了硅单晶抛光片(简称硅抛光片)的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于由硅单晶研磨片经单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于制作集成电路等半导体器件或作为硅外延片的沉积衬底。
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