SJ/T 31455-1994 反渗透装置完好要求和检查评定方法
内容简介
本标准规定了电子工业元器件生产用电子级水制造设备反渗透装置的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于电子工业企业电子元器件,集成电路制造以及清洗工序用电子级水制造的反渗透装置。
起草单位
国营华东电子管厂
起草人
沈鹏
相近标准
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