SJ/T 11499-2015 碳化硅单晶电学性能的测试方法
内容简介
行业标准《碳化硅单晶电学性能的测试方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
起草单位
中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院、
起草人
丁丽、郑庆瑜、蔺娴、
相近标准
20091221-T-469碳化硅单晶片直径测试方法GB/T30866-2014碳化硅单晶片直径测试方法碳化硅单晶位错密度的测试方法20202830-T-469碳化硅单晶位错密度的测试方法碳化硅单晶20120289-T-469碳化硅单晶片平整度测试方法SJ/T11501-2015碳化硅单晶晶型的测试方法SJ/T11500-2015碳化硅单晶晶向的测试方法GB/T32278-2015碳化硅单晶片平整度测试方法20091225-T-469碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法
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