标准详情
- 标准名称：集成电路制造设备术语
- 标准号：GB/T 40577-2021
- 中国标准分类号：L95
- 发布日期：2021-10-11
- 国际标准分类号：31.220
- 实施日期：2022-05-01
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 代替标准：
- 批准发布部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：电子学电子电信设备用机电元件
GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语
Terminology for integrated circuit（IC）manufacturing equipment
内容简介
国家标准《集成电路制造设备术语》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位
中国电子技术标准化研究院、中电科电子装备集团有限公司、中微半导体设备（上海）股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、浙江晶盛机电股份有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、上海微电子装备（集团）股份有限公司、江苏卓远半导体有限公司、
起草人
张军华、冯亚彬、裴会川、朱亮、杜若昕、唐彩红、魏唯、田涛、王宏智、曹可慰、曹建伟、周哲、武小娟、丁晓民、傅林坚、刘英斌、李国平、
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