T/CEMIA 015-2018 光纤预制棒用四氯化硅容器清洗技术规范

内容简介

本标准规定了光纤预制棒用四氯化硅产品充装用容器清洗的设施和材料、清洗条件、清洗及质量控制的要求本标准适用光纤预制棒用四氯化硅充装容器的清洗光纤预制棒用四氯化锗，半导体用三氯氢硅、二氯二氢硅、六氯乙可参考使用本标准规定了光纤预制棒用四氯化硅产品充装用容器清洗的设施和材料、清洗条件、清洗及质量控制的要求。本标准适用光纤预制棒用四氯化硅充装容器的清洗。