SJ/T 11566-2016 集成电路自动冲切成型设备
内容简介
行业标准《集成电路自动冲切成型设备》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。标准主要内容包括集成电路自动冲切成型设备的术语和定义、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。技术要求包括外观、安全、保护和报警、自动化功能、性能、和可靠性等。
起草单位
铜陵中发三佳科技股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、铜陵三佳山田科技股份有限公司、
起草人
丁海生、陈迎志、丁宁、
相近标准
GB/T12842-1991膜集成电路和混合膜集成电路术语集成电路制造设备术语20174085-T-469集成电路制造设备术语GB/T40577-2021集成电路制造设备术语GB/T8976-1996膜集成电路和混合膜集成电路总规范GB/T9178-1988集成电路术语20141081-T-469集成电路用全自动装片机GB/T41213-2021集成电路用全自动装片机SJ/T10152-1991集成电路主要工艺设备术语GB/T15138-1994膜集成电路和混合集成电路外形尺寸
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