SJ/T 11576-2016 喷雾式涂覆设备通用规范
内容简介
行业标准《喷雾式涂覆设备通用规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。标准主要内容包括喷雾式涂覆设备的术语和定义、技术要求(外观、安全、保护与报警功能、自动化功能、喷嘴、盒站、主轴转速、承片台等性能,胶膜厚度及均匀性)、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
起草单位
沈阳芯源微电子设备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、
起草人
贺立波、徐春旭、汪明波、
相近标准
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