标准详情
- 标准名称：电子束蒸发台完好要求和检查评定方法
- 标准号：SJ/T 31084-1994
- 中国标准分类号：CCS11,
- 发布日期：1997-01-01
- 国际标准分类号：
- 实施日期：1997-01-01
- 技术归口：
- 代替标准：
- 批准发布部门：
- 标准分类：电子元器件与信息技术电子工业生产设备表面防护设备
SJ/T 31084-1994 电子束蒸发台完好要求和检查评定方法
内容简介
本标准规定了电子束蒸发台的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于400SC3036型和EBX-12C电子束蒸发台,也适用于CL680型、HCV-12p-70A型蒸发台。
起草单位
起草人
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