JB/T 12585-2016 真空技术 磁悬浮分子泵
内容简介
行业标准《真空技术 磁悬浮分子泵》，主管部门为工业和信息化部/国家能源局。本标准规定了磁悬浮分子泵的型式和基本参数,技术要求,测试方法,检验规则,标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于具有前级泵的磁悬浮分子泵。
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