标准详情
- 标准名称:半绝缘砷化镓中铬浓度的红外吸收测试方法
- 标准号:SJ 3249.3-1989
- 中国标准分类号:CCS1,
- 发布日期:1989-03-20
- 国际标准分类号:441.457.
- 实施日期:1989-03-25
- 技术归口:
- 代替标准:
- 批准发布部门:
- 标准分类:综合电气工程半导体材料标准化管理与一般规定技术管理
本标准规定了半绝缘砷化镓中铬浓度的红外吸收测量原理、仪器设备、测量步骤、结果计算和精度等。 本标准适用于掺铬水平法生长半绝缘砷化镓中Cr浓度的测定,适于样品厚度2~4mm。不适于铬浓度大于1.5×10^(17)cm^(-3)的试样。
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