JC/T 2243-2014 等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
内容简介
行业标准《等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管》由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
起草单位
上海强华石英有限公司、久智光电子材料科技有限公司等、
起草人
张葆青、白凤茹、
相近标准
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